Raws li kev tshaj tawm xov xwm txawv teb chaws, cov kws tshawb fawb ntawm Tsev Kawm Qib Siab South Carolina hauv Tebchaws Meskas tau tsim lub ntiaj teb me tshaj plaws thiab ci ntsa iab tshaj plaws-ultraviolet LED nrog lub nti loj ntawm tsuas yog 5 microns thiab nthwv dej ntawm 281nm. UVC LED array tsim los ntawm cov chips no muaj lub ci ci ntawm 361W · cm-2.
Nws tau tshaj tawm tias thaum pib ntawm lub xyoo no, pab pawg tshawb fawb ntawm Tsev Kawm Qib Siab South Carolina tau pib tsim cov duab me me UV LED sib cuam tshuam. Thawj tiam ntawm UV LED pixels muaj txoj kab uas hla ntawm 25 microns thiab tsim 10 × 10 array, uas txhim kho lub zog tso tawm lub teeb, muaj kev ntseeg siab heev, thiab txo qis kev sib tsoo tam sim no. Nws feem ntau yog ua raws cov qauv txheej txheem tsis kam thiab pabcuam tam sim no nthuav dav.
Tsis ntev los no, pab pawg tau tshawb fawb cov qauv no ntxiv rau qhov tob tob ultraviolet teeb pom kev, tsom mus rau qhov cuam tshuam ntawm cov cua sov tsis kam thiab pixel loj ntawm lub zog tso tawm.
Raws li pab pawg tus kws tshaj lij Richard Floyd, ua kom qhov me me ntawm qhov tob-ultraviolet LEDs kom tsawg dua 20 microns yuav tsis nce qhov nyuaj ntawm feem ntau ntawm cov theem tsim khoom, lossis nws tsis xav tau cov cuab yeej tshwj xeeb los ua kom tiav. Piv txwv li, pab pawg tshawb fawb tau siv tus txheej txheem daim npog ntsej muag (Photoresist Masking) thiab Karl Suss MJB-3 daim npog ntsej muag sib dhos (Mask Aligner) hauv txhua cov txheej txheem luam ntawv.
Txawm li cas los xij, txhawm rau txhawm rau txhawm rau kom muaj kev sib luag ntawm tag nrho cov wafer, pab pawg tshawb fawb tau ua kom pom qhov pom thiab txhim kho lub sijhawm ntawm photolithography qis dua 20 microns, thiab ua kom zoo dua qhov ua kom zoo rau p-ncej ohmic tiv tauj.
Pab pawg tshawb fawb sib piv ib tus pixel pixel siv cov khoom siv nrog lub taub ntawm 90 microns nrog peb qhov sib txawv ntawm cov qauv: 36 pixel arrays nrog txoj kab uas hla ntawm 15 microns, 81 pixel arrays nrog txoj kab uas hla ntawm 10 microns, thiab 324 pixels nrog txoj kab uas hla ntawm 15 micron. Rau 5-micron pixel array, qhov khoob yog txhua 5 micron.
Sab laug: 5-micron sib cuam tshuam pixel array (qhov sib txawv ntawm pixels yog 5 micron)
Txoj cai: Tib qho array thaum DC tam sim no yog 60mA (Duab qhov chaw: University of South Carolina)
Los ntawm txoj hauv kev ntsuas wafer (siv 500ns mem tes thiab 0.05% lub voj voog ua haujlwm kom txo qhov kub ntawm lub cuab yeej), nws tau pom tias tsuas yog 5 micron (txoj kab uas hla) pixel nrog aluminium kub dab dej, thaum tsav tsheb tam sim no yog 10.2kA · Cm- Ntawm 2 o' moos, qhov ci ntsa iab tuaj yeem ncav cuag 291W · cm-2, uas yog 30 npaug qhov ci ntawm cov lus hais saum toj no hais txog LED.
Cov txiaj ntsig tshawb fawb ntawm peb qhov sib txawv qhia pom tias, ua tsaug rau cov cuab yeej tshem tawm cua sov zoo tshaj uas tshem tawm cov cua sov, txo qhov pixel loj tuaj yeem txhim kho kev ua haujlwm. Piv nrog rau ib leeg-nti siv, lub zog tso tawm ntawm 324 pixel arrays nrog txoj kab uas hla ntawm 5 microns tau nce ntau dua 5 zaug nyob rau hauv hom yoj mus tas li, thiab lub zog tso tawm tuaj yeem nce ntau dua 15 zaug hauv hom mem tes.
Los ntawm qhov kev tshawb fawb no, pab pawg tshawb fawb pom tias qhov ua tau zoo ntawm sab nraud quantum ntawm kev sib txuas ntawm micro-pixel array yuav tsis txo qis raws li qhov pixel me me. Yog li ntawd, cov kws tshawb fawb ntseeg siab tias lawv tuaj yeem tsim kho qhov me me yam tsis cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej. Deep UV LED.
Tab sis nws yuav tsum tau sau tseg tias cov txiaj ntsig kev tshawb fawb tseem qhia tau tias raws li cov cuab yeej loj dua tau txo qis, qhov ntsuas cua sov yuav txo qis me ntsis, tab sis tsuas yog qhov ntsuas no yuav cuam tshuam.
Tam sim no, University of South Carolina pab pawg tshawb fawb tab tom kawm txheej txheem thev naus laus zis txhawm rau txhim kho lub teeb pom kev zoo, cia siab tias yuav siv cov tshuab hluav taws xob ywj pheej los tswj cov pixels no.
Nws tau tshaj tawm tias qhov kev tshawb fawb no yuav pab txhawb UVC LEDs kom muaj kev sib tw zoo dua nrog cov roj teeb uas muaj mercury hauv cov ntawv thov kom tau txhaj tshuaj tob tob ultraviolet irradiation. Tom qab tag nrho, hauv qee qhov chaw thov xws li tshuaj tua kab mob daim npog, qhov muaj tshuaj lom ntawm cov teeb roj mercury tau ua rau muaj kev txhawj xeeb ntau.
Txawm hais tias tam sim no UVC LEDs tseem qis dua cov roj teeb uas hais txog kev hloov pauv hluav taws xob ua haujlwm tau zoo, kev ua haujlwm tau zoo, thiab kev ua neej nyob, kev siv tsis tu ncua hauv thev naus laus zis yuav kawg txhawb txoj kev hloov cov teeb roj teeb nrog UVC LEDs.
